半导体洁净室组合式新风机组控制方案

摘要

组合式新风机组MAU为半导体洁净室提供新鲜空气、保证洁净室正压、维持洁净室对温湿度的要求，在洁净室环境维持上起着至关重要的作用。由于半导体洁净室对空气质量及温湿度要求较高，因此MAU需要对新风进行三级过滤、多级降温（或升温）、除湿（或加湿）等处理。与此同时，高精度的控制伴随着更大的能耗需求，而洁净室通常需要全年不间断运行，MAU也需持续工作，长时间大量的新风处理导致能耗累积显著。因此，合理的控制方案不仅是保证洁净室温湿度、洁净度的关键，同时能有效降低能耗和运营成本。本文分别就不同季节从可靠性及节能性两个方面对MAU不同组段提出相应的控制方案，确保在不同的室外新风状态点均能满足洁净室温湿度要求、保证MAU高效节能的运行。