环形金刚石线锯加工单晶硅线弓大小对加工精度的影响

摘要

环形金刚石线锯加工单晶硅棒过程中，因加工过程力的影响引起线锯形变产生线弓形态，对加工精度将产生不良影响，进而影响加工质量，是业界亟待解决的问题。本文在综述了往复式和环形线锯发展概况的基础上，通过对环形金刚石线锯切割单晶硅棒产生的线弓形态进行理论分析，建立了线锯加工过程的力学模型，分析了线锯磨粒对材料去除过程的力学行为，进行了线弓形态受力分析;通过工艺参数试验，调整和优化张力、线速度、进给速度等工艺参数，显著提升了单晶硅加工尺寸精度。