DSA 定向组组装光刻技术集成碳纳米管晶体管

王 旭(南京知赫电子科技有限公司,中国)

DOI: http://dx.doi.org/10.12349/msat.v4i4.8482

Article ID: 8482

摘要


DSA(Directed Self-Assembly)光刻技术是一种利用块状高分子材料在光照下发生相分离的原理,通过光照控制高分子材料的排列,从而形成纳米级图案的光刻技术。该技术能够在较低的分辨率下实现纳米级结构的制造,具有工艺简单、成本低廉等优势,因此在半导体制造领域具有广泛的应用前景。DSA导向自组装集成碳纳米管AI芯片”是一种面向后摩尔时代、以碳纳米管为沟道材料利用定向自组装(DSA)纳米加工技术实现超高密度、低功耗、AI专用计算阵列的新型芯片制造方案。它实现在3 nm及以下节点替代硅基FinFET,实现1.2 THz级沟道速度、功耗下降60%+的碳基晶体管AI加速器。

关键词


DSA定向自组装、碳基晶体管、硅基FinFET、AI加速器

全文:

PDF

参考


陈毅龙. 酞菁铁复合碳基纳米材料的氧还原性能研究[J].生态产业科学与磷氟工程,2025,40(12):22-27.

王明,高波,李自强,等. 碳基正极材料在锂硫电池中的研究进展[J].有色金属(中英文),2025,15(12):2137-2150.DOI:10.20242/j.issn.2097-5384.2025.12.006.

常建欢,韩庆鑫,官小玉,等. 锌-空气电池碳基氧还原催化剂的研究进展[J/OL].精细化工,1-12[2026-01-07].https://doi.org/ 10.13550/j.jxhg.20250267.

陈嘉琳,胡雪敏,蔡延庆,等. 碳基材料太阳能界面蒸发研究进展[J/OL].化工新型材料,1-6[2026-01-07].https://doi.org/10.19817/j. cnki.issn1006-3536.2026.02.041.

潘明杰,李伟,孟令琪,等. 基于微腔碳基复合材料的黑体靶面均温性与发射率强化研究[J/OL].电光与控制,1-10[2026-01-07].https://link.cnki.net/urlid/41.1227.TN.20250924.1247.004.

吕晓炜,张家振,陈俊宇,等. 波导集成的碳基红外探测器研究进展[J].物理学报,2025,74(20):341-355.

张乾,姚树玉,李晨,等. 静电纺碳基材料在锂离子电容器中的研究进展(英文)[J].新型炭材料(中英文),2025,40(04):782-821.

Manfo A T ,Laaksonen H . 超级电容器用碳基杂化材料综述(英文)[J].新型炭材料(中英文),2025,40(01):81-110.

马思畅,李东阳,徐睿. 静电纺丝在制备高性能锂离子电池负极材料中的应用[J].化学进展,2024,36(05):757-770.

陈曦,李明轩,闫金伦,等. MOF衍生碳基材料的电催化应用及其先进表征技术(英文)[J].新型炭材料(中英文),2024,39(01):78-99.

石磊,李彦哲,尹华杰,等. 碳基无金属纳米材料用于电催化合成小分子化学品(英文)[J].新型炭材料(中英文),2024,39(01):42-63.

夏会聪,昝灵兴,魏一帆,等. 碳基电极材料在能源存储器件中的催化效应(英文)[J].Science China(Materials),2022, 65(12):3229-3242.

孟鹏飞,张笑容,廖世军,等. 金属/非金属元素掺杂提升原子级分散碳基催化剂的氧还原性能[J].化学进展,2022,34(10):2190-2201.

赵一蓉,刘聪聪,卢琼琼,等. 自支撑碳基柔性超级电容器电极材料研究进展(英文)[J].新型炭材料(中英文),2022,37(05):875-897.

刘新叶,梁智超,王山星,等. 碳基材料修饰聚烯烃隔膜提高锂硫电池性能研究[J].化学进展,2021,33(09):1665-1678


Refbacks

  • 当前没有refback。


版权所有(c)2026 王 旭