大尺寸硅单晶生长设备的关键技术发展趋势分析
DOI: http://dx.doi.org/10.12349/tie.v2i1.5786
Article ID: 5786
摘要
大尺寸硅单晶作为支撑半导体和光伏产业高端发展的核心材料，其生长设备技术正面临结构复杂化、过程精密化和控制智能化的转型挑战。设备中的热场系统、牵引机构及气氛控制装置在确保晶体质量与尺寸提升方面发挥关键作用，但在晶体缺陷抑制、界面稳定调控及温度梯度均匀性方面仍存在技术瓶颈。本文聚焦大尺寸硅单晶生长设备的系统构成与功能特征，深入剖析制约硅单晶品质与效率的核心障碍，并系统梳理创新技术路径，探讨磁场辅助控制、智能温控与结构模块化等先进技术的应用前景，同时结合产业需求分析设备发展趋势，以期为我国硅单晶装备技术的自主突破提供理论支撑与方向引导。
关键词
大尺寸硅单晶；生长设备；热场控制；缺陷抑制；技术创新
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