特殊气体供应及尾气排放处理

摘要

半导体晶圆厂、封测厂中特殊气体供应是非常重要的一环，其中零中断、高精度、高纯度、高安全、合规排放是每个半导体厂的生产目标，针对半导体刻蚀、扩散等工艺要求特气供应的压力、流量稳定，尾气排放达到环保要求的问题。本篇以特气设备和尾气处理设备为研究对象，根据行业通用的特气供应和尾气处理方案，做到特气稳定供应以及尾气处理99%以上的效率。