基于气流仿真的洁净室污染源控制方案

摘要

半导体的工艺对环境的洁净要求较高，但在半导体玻璃盖板生产中包含了喷墨工序，该工序可能导致油墨分子渗透到空气中，造成洁净环境的污染，最终对产品的良率造成影响。合理的气流组织是污染源控制的关键，房间的气流组织主要受到送回风口布置的影响。由于送风口为FFU高效过滤单元，可对空气进行过滤并提供动力压头；回风口为压力出流，动力源为房间内外的压差。因此，送风口对房间气流具有更大的影响，合理的FFU设置变得尤为关键。论文利用气流仿真对原设计方案中的气流组织进行仿真验证，并针对仿真结果中气流相对较差的区域提出FFU的优化布置方案，再利用气流仿真对优化方案的气流进行验证，进而确定污染物的控制方案，明确方案的可行性。