半导体厂务水处理系统——关于节能环保的探讨

摘要

近年来，随着中国半导体产业的迅速发展，许多不可忽视的环境问题如排水问题也相继出现。半导体行业废水处理及回用系统的设计需要根据不同的水质和回用点选择处理工艺。作为一个高能耗行业，半导体行业对水和电的消耗巨大，仅在纯水制造就需要消耗大量的水和电。纯水制备过程中的填料反复冲洗，反渗透膜需要高压来达到处理效果，各类监测水质指标的仪器仪表也会不断排放测试水，供应给机台使用的水量也会根据清洗的程度进行判断是否具有回收价值。因此，探索如何在纯水生产中节约水和电是当务之急[1]。