抗高过载电容式加速度传感器设计与优化

摘要

针对全电子引信常用的电容式加速度传感器在高过载环境下，上下级板由于静电吸附而损坏，加工工艺复杂，无法克服对准误差，造成传感器灵敏度低的问题，提出了一种量程为±100g抗过载电容式加速度传感器结构。该结构采用玻璃-硅-玻璃的“三明治”结构，并在质量块上加“防护台”结构，避免了在高过载环境质量块位移过大而引起悬臂梁损坏以及上下极板黏附，造成传感器失效的问题，并设计了MEMS加工工艺，克服了对准误差。验证试验表明：传感器量程为±100g，输出灵敏度为13.5μv/g，工作频率为6.2KHz，并在10000g的高过载下正常工作。因此该抗高过载电容式加速度传感器满足全电子引信的使用要求。